한국나노기술원 나노소자팹 장비별 적용 가능한 기판 정보

한국나노기술원에서 제공하는 나노소자팹 장비별 적용 가능한 기판 정보입니다.(장비명, 적용가능한 기판 종류, 사이즈, 기판유형, 기판 두께 등)

  • 장비 상세 정보 : 한국나노기술원_나노소자팹서비스 및 연구공정장비 정보(https://www.data.go.kr/data/15037530/fileData.do)에서 확인 가능합니다.

리소스

항목
CKAN dataset id 707a92e0-399e-49cd-8db6-bc663ee3be1d
상태 active
url https://www.data.go.kr/data/15088740/fileData.do
버전 2023-08-21
라이선스 cc-zero
pricing 무료
갱신주기 연간
관련법령
관리부서 전화번호 315,466,439
데이터 한계
매체유형 텍스트
비용부과기준 및 단위
비용부과유무 무료
수집방법
이용조건 로그인 없이 다운로드
전체 행 137
차기 등록 예정일 2,024-08-31
카테고리 과학기술 - 과학기술연구
확장자 CSV
최초 수집 일시 2021-09-26T17:34:53…
최근 수집 일시 2023-12-12T06:29:21…

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